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AZ管式爐有8個控溫區，在整個加熱長度內獲得所需的溫度。
有8個控溫區，保溫材料厚實，加熱元件對稱分布，使得溫度均勻性能優于±5°C。其主要優點是有8個獨立的控溫區，使得均溫區可以延長。另外，控溫能十分精確，可實現線性升溫、峰值或其他溫度場。AZ管式爐的典型應用是化學氣相沉積?；瘜W氣相沉積需要有溫度梯度，物質在溫度較高的一端氣化并在溫度較低的一端冷卻沉積在一片基底層上。所有的控溫區都由各個熱電偶獨立控溫和監測溫度。
應用實例
退火、晶體生長、干燥、蒸發、升華、合成
標準參數
結構同FHA / FHC管式爐
8區控溫，滿足不同溫度場的需求
在加熱區間內能形成溫度梯度，線性升溫 / 降溫
擴大均溫區長度
快速升溫和冷卻
全自動運行
數據記錄，用于質量管理
設定值中繼控溫方式
選項(訂購時詳細標注要求)
提供一系列精密的數字控制器，多段編程和數據記錄儀，這些可以配備RS232，RS485或以太網通訊接口。
過溫保護
各種尺寸和材質的工作管可選，如石英、陶瓷、金屬
L型支架，垂直使用
隔熱保溫塞和防輻射屏蔽塞防止熱量損失提高溫度均勻性
可控氣氛及真空組件
真空系統可選機械泵或渦輪分子泵，工作管內徑60mm及以上
根據要求可選西門子SPS控制器，觸摸屏，質量流量計
其他規格的工作管和加熱長度，請向我們咨詢
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型號 |
最高 溫度 （℃） |
外部尺寸 H×W×D* (mm) |
工作管 直徑 （mm） |
加熱 長度 (mm) |
重量** （kg） |
最大 功率 （W） |
電壓 （V） |
電流 （A） |
保險絲 （A） |
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AZ13/32/360 |
1350 |
990×1800×500 |
32 |
360 |
500 |
1500 |
400 (3P) |
3×4 |
3×16 |
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AZ13/50/430 |
1350 |
990×1800×500 |
50 |
430 |
550 |
2900 |
400 (3P) |
3×9 |
3×16 |
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AZ13/80/810 |
1350 |
990×1800×500 |
80 |
810 |
600 |
7300 |
400 (3P) |
3×12 |
3×16 |
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AZ13/110/1000 |
1350 |
1200×1800×520 |
110 |
1000 |
650 |
11300 |
400 (3P) |
3×19 |
3×25 |
※最高連續使用溫度應低于最高溫度100℃
※*小型管式爐采用單獨的控制柜
※**最大重量包括真空泵
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